Izpēte par magnetronu uzputināšanas tehnoloģijas aizstāšanu ar alternatīvām funkcionālo interferences kārtiņu iegūšanas metodēm un to industriālais pielietojums liela formāta neatstarojošajos pārklājumos

Pētniecības gaitā tiek pētītas alternatīvas metodes magnetronu uzputināšanai, lai iegūtu funkcionālās interferences kārtiņas, kas ir integrētas esošajās produktu kārtiņās. Pētījums tiek sadalīts vairāku alternatīvu virzienu izvērtēšanā. Tiks apskatītas iespējas pielietot Plazmas pastiprināto ķīmisko tvaiku nogulsnēšanos (PECVD), Jonu staru asistēto ķīmisko tvaiku nogulsnēšanos (PIB-CVD) un Jonu implantācijas metodes. Metodes ir savietojamas ar liela izmēra magnetronu uzputināšanas iekārtām, bet ir nepieciešama to validācija un prototipēšana atbilstoši uzņēmuma produktu kvalitātes prasībām.